一种高耐候性的RPD用多元导电氧化物薄膜的制备方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201810933611.X （22）申请日 2018.08.16

（71）申请人 研创应用材料(赣州)股份有限公司

地址 341000 江西省赣州市经济技术开发区工业园北区标准厂房6栋

（10）申请公布号 CN109136863A

（43）申请公布日 2019.01.04

（72）发明人 黄信二 （74）专利代理机构

代理人

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种高耐候性的RPD用多元导电氧化物薄膜的制备方法

（57）摘要

本发明涉及高耐候性的RPD用多元导电氧

化物薄膜的制备方法，由添加第三種氧化物元素在氧化铟锌材料中，使用注浆成型加高温烧结的方式来制作相关镀膜材料，提高镀膜材料均匀性以利提高镀膜的均匀性。提高氧化鋅的含量及使用RPD方式来做镀膜可以大幅降低制作成靶材的困难度，且不用做材料与背板邦定的过程，大幅降低镀膜材料的制作成本；且用RPD的方式来制作氧化铟锌透明导电膜层形成非晶或是微细晶结

构等高制密的膜层可增加阻水气性，RPD制程也可以减少对原来已镀膜层的损伤，提高不同膜层的贴覆性；由于镀膜阻水气佳、高透光及高导电性可以有效满足太阳能电池、触摸屏、有机发光二极管或是电致变色器件的性能需求。

法律状态

法律状态公告日

2019-01-04

法律状态信息

公开

法律状态

公开

权利要求说明书

一种高耐候性的RPD用多元导电氧化物薄膜的制备方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看

说明书

一种高耐候性的RPD用多元导电氧化物薄膜的制备方法的说明书内容是....请下载后查看