在光输出面上具有衍射膜的光发射器件及其制造方法[发明专利]

专利名称：在光输出面上具有衍射膜的光发射器件及其制造方

法

专利类型：发明专利

发明人：后利彦,大久保总一郎,松浦尚申请号：CN200380100294.5申请日：20031204公开号：CN1692536A公开日：20051102

摘要：本发明以高效率、低成本提供一种实用的微型光发射器件，其在光输出面上具有光衍射膜。该光发射器件(LD)包括形成在其光输出面上的衍射膜(DF)；该衍射膜包括一个透明DLC(似金刚石碳)层；并且，该DLC层包括一个折射率调制型衍射光栅，该衍射光栅包含具有相对较高折射率的局部区域和具有相对较低折射率的局部区域。

申请人：住友电气工业株式会社

地址：日本大阪

国籍：JP

代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：李春晖

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