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专利名称:基于量子衍生遗传算法的光学薄膜结构分析方法专利类型:发明专利发明人:匡尚奇,周祥燕申请号:CN201710581438.7申请日:20170717公开号:CN107391834A公开日:20171124
摘要:本发明公开了一种基于量子衍生遗传算法(QIGA)的光学薄膜结构分析方法,其包括:(1)输入基于QIGA的薄膜表征的初始参数值;(2)生成表征薄膜结构参数的初始量子种群;(3)对初始量子种群进行观测;(4)判断是否满足终止条件,若是,则终止程序,若否,则继续进行;(5)对量子种群中的个体进行适应度评估,并保存最优个体;(6)量子旋转门操作,生成子代;(7)量子变异操作,更新子代;(8)量子全干扰交叉操作,更新子代;(9)精英保留策略操作,并转到步骤(4)。本发明的方法在薄膜的GIXR拟合求解过程中具有收敛速度快和求解精度高的优势,解决了基于传统遗传算法的薄膜掠入射X射线反射拟合求解中存在的效率低、精度差等问题。
申请人:长春理工大学
地址:130000 吉林春市朝阳区卫星路70号
国籍:CN
代理机构:苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人:仲崇明
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