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专利名称：一种镀膜腔专利类型：实用新型专利发明人：程文雅
申请号：CN2020204863.4申请日：20200327公开号：CN212102991U公开日：20201208
摘要：本实用新型公开一种镀膜腔，涉及镀膜设备技术领域，包括连通有蒸发源的腔体本体，所述腔体本体包括顶板、底板和侧板，所述腔体本体连接有腔体本体旋转机构；所述腔体本体内的底板上设置有用于承载被镀膜物的基台；所述底板上开设有一个燕尾槽，所述基台设置在所述底板的燕尾槽上方，所述燕尾槽底部与外部排气泵相连通；所述腔体本体外包覆设置有加热套，所述加热套上设置有通入加热介质的入口和回收加热介质的出口。本实用新型提供的镀膜腔，可以使基材镀膜均匀，镀膜效果好。
申请人：珠海凯赛奥表面技术有限公司
地址：519000 广东省珠海市香洲区沿河西路352号(银桦新村)02室
国籍：CN
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