专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：厚膜加热器专利类型：发明专利发明人：邬治国,金辉
申请号：CN201410069227.1申请日：20140227公开号：CN103808000A公开日：20140521
摘要：本发明涉及一种厚膜加热器，包括厚膜发热盘、设置在厚膜发热盘下部的发热盘压块、设置在厚膜发热盘上部的导热盘以及加热池，所述的发热盘压块与厚膜发热盘相接的表面上设有气槽，发热盘压块上的进气接口和出气接口与气槽相通；由氟塑料制得或具有氟塑料层的加热池设有池盖和导流板，加热池上的导流板贴合在导热盘上，导流板将加热池的空腔分隔成环绕式的液体流道，加热池上设有与液体流道相通的进液接口和出液接口，加热池在出液接口的一侧安装有检测出液温度的第一温度传感器，且第一温度传感器的检测端设置在液体流道内，导热盘上安装有第二温度传感器。本发明方便、快速精确控制液体的温度，工作可靠，提高清洗效率，便于维护。
申请人：常州瑞择微电子科技有限公司
地址：213022 江苏省常州市新北区长江北路25号3号楼一楼西
国籍：CN
代理机构：常州市维益专利事务所
代理人：贾海芬
更多信息请下载全文后查看
