测量液体折射率的迈克尔逊干涉仪动镜装置

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN201820241001.9 （22）申请日 2018.02.11 （71）申请人 长春工程学院

地址 130012 吉林春市朝阳区宽平大路395号

（10）申请公布号 CN207816817U

（43）申请公布日 2018.09.04

（72）发明人 岳巾英;姜义;李素文;许文斌 （74）专利代理机构 长春市吉利专利事务所

代理人 李晓莉

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

测量液体折射率的迈克尔逊干涉仪动镜装置

（57）摘要

本实用新型测量液体折射率的迈克尔逊干

涉仪动镜装置，适用于迈克尔逊干涉仪测量光路中，其包括液槽、石英窗口、标准件导轨、横板、反射镜架、反射镜、谐波减速器、谐波减速器固定板及数显五相步进电机；本实用新型采用五相步进电机驱动传动比为100:1的谐波减速器，并通过零间隙的2mm导程的高精度滚珠丝杠将电机的旋转运动转换成平移运动，测量精度高，干涉条纹变化清晰易数；再者，本实用新型

能够提高工作效率,将被测液体倒入液槽，调节光路，调节五相步进电机工作在基本步距角0.72°模式下，经谐波减速机构将丝杠旋转一周细分成50000步，平移分辨率0.04微米，精度±0.002微米，通过电机驱动器上的数显计数器精确显示电机驱动脉冲数，乘以分辨率0.04微米，即得到位移量。

法律状态

法律状态公告日

2018-09-04 2018-09-04 2020-02-11

法律状态信息

授权 授权 专利权的终止

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授权 授权

专利权的终止

权利要求说明书

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说明书

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