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专利名称：硅片插片系统专利类型：实用新型专利发明人：陈宏
申请号：CN201520088219.1申请日：20150209公开号：CN204441260U公开日：20150701
摘要：本实用新型公开一种硅片插片系统，包括用于输送硅片的硅片输送机构、用于输送盛装硅片的工装花篮的花篮输送机构、用于抓取及移动工装花篮的机械手、用于限定待插片的工装花篮的位置的限位机构，所述的限位机构包括相平行且沿竖直方向设置的第一侧立板和第二侧立板，所述的第一侧立板与所述的第二侧立板之间形成供工装花篮上下移动的通道，硅片在硅片输送机构上的移动路径的中心线与所述的通道的竖直中心线共面。本设计通过在插片位置处设置限位机构，用于对工装花篮的定位和升降进行限定，从而保证插片的准确性和升降移动的稳定性，有效降低了碎片率。
申请人：张家港市超声电气有限公司
地址：215618 江苏省苏州市张家港市金港大道1001号
国籍：CN
代理机构：南京钟山专利代理有限公司
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